产品特点
- 炉体针对高温工艺(900~1100℃)有特殊设计,可有效防止炉体变形,延长炉体使用寿命;
- 快速降温炉体:最新专利技术使炉体温度快速降到所需温度,降温速率提升25%以上,明显提升炉管内温度均匀性;
- 先进的串级控温加智能降温技术,提高温度稳定性与控温精度,减少温度整定时间;
- 先进的全闭环压力控制系统,能对工艺腔室内的气压进行实时的精确检测与控制;
- 高效的尾气处理系统,干湿分离,自动排放,极大延长维护周期,降低维护成本,保证开机率和工艺稳定性;
- 创新的不着陆工艺方式,工艺过程中石英舟悬空,可有效减少石英管的受力与变形,减少石英器件之间的粘黏,延长使用寿命;
- 独特的炉门密封设计,实现金属与反应腔室的隔离,减少热量损失,大幅延长密封圈的使用寿命,保障压力的稳定性;
- 稳定的通源管路设计,减少因环境因素的扰动而造成的方阻波动;
- 架构完整,性能突出的MES/CCRM系统。
基本参数
项目 | 技术指标 |
---|---|
硅片尺寸(mm) | 182~230mm可选 |
工艺方式 | 闭管低压扩散 |
反应管有效内径 | Ø480mm |
装片量 | 2880片/批@182mm(槽间距2.72mm);2200片/批@210mm(槽间距3.15mm) |
方阻及均匀性 | 片内≤5% 片间≤5% 批间≤3% (50~110ohm/sq) |
加热温度 | Rt→1250°C |
工作温度范围 | 600~1100°C |
温度控制 | 6点控温,内外双模控制 |
升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
最大降温速率 | ≥7°C/min ( 1100~900°C) , ≥6°C/min ( 900~700*C ) |
恒温区精度及长度 | ≥0.5°C/2800mm(600~1100C) |
单点温度稳定度 | ≤+0.5°C/4h ( 880°C ) |
送舟方式 | 采用SiC悬臂桨自动水平送片,舟速20 ~ 1500mm/min连续可调;定位精度≤+1mm ; |
系统极限真空度 | 20mbar |
系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率<1mbar/min |
压力控制方式 | 闭环全自动 |
工艺控制方式 | 全自动,PLC+工控机,触摸屏操作 |
人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、 班组管理、组网功能 |
MES | 可选 |