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产品特点
- 532nm绿光激光器，稳定可靠；
- 全新聚焦平顶能量分布光路传输系统设计，有效提高光路稳定性，最大限度降低硅基损伤；
- 兼容现有产线，易于升级，可靠性高。
实例效果
激光掺杂SEM效果
大族BSM方形光斑
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 光斑形貌 、大小 | 平顶方形光斑，能量均匀分布，最大限度降低硅基损伤80-140μm可调 |
| 加工电池尺寸 | 156mmx156mm~185mmx185mm，兼容210mm |
| 机台产能 | 7500~8000p/h@166mm(标准机)；12000p/h@166mm(可定制) |
| 激光器寿命 | 20000小时 |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 料片检测 | 前检工业相机，≥1000万像素；后检可选配 |
| 图形精度 | ≤±15μm |
| 定位精度 | 定位偏差: ≤±30μm |
| 运行方式 | 双轨运行，两轨互相独立各不干扰 |
| 除尘及过滤效率 | 除尘效率＞95%，粉尘过滤效率＞99% |
| 上料方式 | 两侧/同侧上下料可选 |
| 控制系统 | PLC+工控机 |
| 交互界面 | LCD显示、触摸操作 在线监控、权限管理等 |
| MES | 具备MES 信息化接口 |
