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产品特点
- 高产能，能耗低；
- 工艺窗口宽，洁净度高；
- 快速换液，在线换液；
- 自动化程度高，支持MES、RFID及选配在线称重功能；
- 花篮/批，11000片/小时——210硅片（116片花篮）。
- 花篮/批，15000片/小时——182硅片（120片花篮）。
主要参数
项目 | 技术指标 |
|---|---|
硅片尺寸(mm) | 182/210/230可选 |
Uptime | ≥98.5% |
碎片率 | ≤0.01% |
外形尺寸 | 23470(L) × 3100(W) × 2550(H) |
| 花篮装载能力 | 4个花篮/批，6个花篮/批 |
最大提升重量 | 100kg |
产能 | 400片/批，11000片/小时——210硅片（116片花篮）； 600片/批，15000片/小时——182硅片（120片花篮） |
清洗节拍 | 2.4min/carrier(用户自定，可调) |
功率消耗 | 245KW+144KW（热水机） |
