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产品特点
- 高产能，能耗低；
- 600片/批，13500片/小时---210mm硅片（100片花篮）；
- 720片/批，16000片/小时---182mm硅片（120片花篮）；
- 兼容各种硅片尺寸，最大至230mm；
- 支持最薄120μm硅片；
- 支持多种添加剂技术；
- 快速换液，在线换液；
- 支持MES、RFID及选配在线称重功能。
主要参数
项目 | 技术指标 |
|---|---|
硅片尺寸(mm) | 182/210/230可选 |
Uptime | ≥99% |
碎片率 | ≤0.01% |
外形尺寸 | 26140×3106×3383(L×W×H) |
| 花篮装载能力 | 4个花篮/批，6个花篮/批 |
最大提升重量 | 100kg |
产能 | 600片/批，13500片/小时---210mm硅片（100片花篮） 720片/批，16000片/小时---182mm硅片（120片花篮） |
清洗节拍 | 2.4min/carrier(用户自定，可调) |
功率消耗 | 285KW+144KW（热水机） |
