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烧结炉

YST210-LA

烧结炉

应用领域:

适用于丝网印刷整线的烧结。



1、硅片传输采用陶瓷辊道形式,相比传统金属网链会带走大量热量,陶瓷辊道可避免此缺陷,可节能50%以上;

2、相比传统链式炉,陶瓷辊道烧结炉片内温差更低,配套的多孔陶瓷内芯燃烧塔,能耗更低,更易于维护清洁。

设备关键技术指标

产能≥8000UPH
破片率≤0.01%(排除硅片自身质量、隐裂、人为操作失误等因素)
温区设置烘干段设置7个温区,烧结段设置9个温区,1个出片冷却段
能耗单列设计功率 80KW,运行功率≤40KW(含2个燃烧塔)
能耗监测配备智能电表,数据可在上位机显示
Up Time≥99%
内腔温度温度性≤±1.5℃
烧结后出片温度<40℃