1、硅片传输采用陶瓷辊道形式,相比传统金属网链会带走大量热量,陶瓷辊道可避免此缺陷,可节能50%以上;
2、相比传统链式炉,陶瓷辊道烧结炉片内温差更低,配套的多孔陶瓷内芯燃烧塔,能耗更低,更易于维护清洁。
设备关键技术指标
产能 | ≥8000UPH |
破片率 | ≤0.01%(排除硅片自身质量、隐裂、人为操作失误等因素) |
温区设置 | 烘干段设置7个温区,烧结段设置9个温区,1个出片冷却段 |
能耗 | 单列设计功率 80KW,运行功率≤40KW(含2个燃烧塔) |
能耗监测 | 配备智能电表,数据可在上位机显示 |
Up Time | ≥99% |
内腔温度温度性 | ≤±1.5℃ |
烧结后出片温度 | <40℃ |