产品类别
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钙钛矿激光刻划设备(产线机型)
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整机大理石结构,防震刚性设计,保证高速刻划系统稳定性;飞行光路激光加工过程中玻璃保持静止;光束焦点、间距可独立自动调节。查看详情 -
钙钛矿激光刻划机(实验机型)
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兼容P1/P2/P3/P4四道激光工序一体机;兼容400*400mm以下尺寸及不同厚度加工,可加工柔性;采用科研级别大理石结构,高速直线电机运动平台,保证系统的稳定性、加工精度和效率。查看详情 -
钙钛矿激光清边设备(产线机型)
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整机采用大理石防震结构,保证加工过程稳定;采用毛刷或气浮整板支撑,保证基板水平;工艺可选择膜层全清及保留TCO。查看详情 -
钙钛矿激光清边设备(产线机型)
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整机采用大理石防震结构,采用双驱切换保证基板相对位置固定;采用毛刷或气浮整板支撑,保证基板水平;清边工艺可选择膜层全清及保留TCO。查看详情 -
全自动槽式RCA清洗设备
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高产能,低能耗;600片/批,13500片/小时---210mm硅片(100片花篮);720片/批,16000片/小时---182mm硅片(120片花篮)。查看详情 -
全自动槽式碱抛清洗设备
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高产能,低能耗;600片/批,13500片/小时---210mm硅片(100片花篮);720片/批,16000片/小时---182mm硅片(120片花篮)。查看详情 -
激光隔离和边缘钝化设备
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核心激光器自研,全新光路设计,稳定可靠;成熟配套工艺,确保组件功率提升稳定。查看详情 -
LPCVD镀膜机
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适用于半导体和光伏领域,针对于光伏领域TOPCon工艺电池;LPCVD设备可一站式完成隧穿氧化层/Poly层的制备,热氧和沉积Poly层两个工艺合二为一能够大幅提高产能;同时兼容i/d-Poly生长工艺。查看详情 -
低压硼扩散
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TOPCon已成为N型电池产品化推广的主流技术路线之一,硼扩散主要用于电池制造中正面制作PN结,属于关键制程之一。查看详情