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产品特点
- 设备模块化设计，在线连接一台或两台PECVD，可根据客户设备量身定制；
- 采用PLC机控制人机界面易于使用和理解，实时温度监控；
- 可选配在线隐裂⽚检测、在线膜厚检测、在线色差检测、在线CCD翘片检测及NG片自动处理功能；
- 在线/离线配置；
- 匹配AGV,RFID,可选配MES功能。
基本参数
机械系统规格表 | ||
|---|---|---|
硅片 | 单晶/多晶 | 兼容 |
生产、设计所用的硅片尺寸（mm） | 182×182～230×230（同一台设备一般只兼容相邻的两款尺寸）注：当切换硅片尺寸时，需要做机械装置的调整改造。 | |
厚度(mm) | 0.10～0.2 | |
设备运行能力 | 实际运行产能（净产能） | 182：≥8000 片/小时@32片/槽 |
碎片率 | 厚度＞130μm：182≤0.02%，210≤0.03%；厚度＜130μm：182≤0.05%，210≤0.08%；A片，不含隐裂等来料不良 | |
正常运行时间（up time） | 98% | |
检测功能 | 花篮RFID读数头 | 预留花篮RFID读数头安装位置 |
下料检测 | 预留工艺面在线AOI安装空间；预留PL-AOI一体机+大饼片检测安装空间 | |
翘曲片检测 | 预留CCD翘片检测安装空间（自动化和主机对接口） | |
功能结构 | 上下料通道 | 花篮上下料为2通道上料，2通道下料，1通道返工 |
花篮跑道 | 与AGV对接匹配，花篮输送轨道按照5+1+1配置 | |
| 花篮流转 | 上料端空花篮自动循环至下料端 | |
石墨舟工位 | 双工位 | |
拍舟器 | 配置1个拍舟器，力度可调并可单独屏蔽 | |
| 硅片纠偏 | 带编码器伺服电机纠偏，参数可调 | |
| 防呆 | 花篮、石墨舟工位需要配置防呆装置，防止人员放反，需要报警提醒，放反后设备不可有装卸动作。 | |
| 真空发生器 | 吸盘采用一个真空发生器控制整个吸盘 | |
石墨舟温度检测 | 检测主机传出石墨舟温度≤45℃时，允许进行插取片 | |
