工艺功能描述

太阳能PE上下料插片机将经过管式 PECVD工艺处理后的石墨舟内的硅片自动化取出装篮，并将没经过工艺处理的硅片自动化装入石墨舟。

硅片

单晶/多晶

兼容

外形尺寸(mm)

156.76×156.75~210×210

厚度(mm)

0.16～0.22

工装规格

花篮

上料花篮＝100 片，片距 4.76mm；下料花篮＝100 片，片距 4.76mm；可定制

石墨舟

硅片容量＝640片（双舟）；舟角尺寸公差控制在±0.1mm；舟长度尺寸控制在±0.1mm；宽度螺母面控制在±0.5mm；

石墨舟舟托

按需求定制

工艺主机

工艺机名称

工艺机方向

左手机型：人面向工艺机正面（控制屏）时，进舟端在左。

右手机型：人面向工艺机正面（控制屏）时，进舟端在右。

石墨舟舟托数量

2

设备运行能力

实际运行产能（净产能）

≥4700 片/小时(640 片石墨舟双舟）（所有的产能都基于主设备的产能，主设备产能不足则以主设备的产能为准））

碎片率

单晶 A 片≤0.05% （只包含自动化碎片，不含炉内碎、不含本身隐裂、线痕等缺陷片）

划伤吸盘印

膜厚：正镀膜 85±5 纳米；背膜蓝膜 90 纳米；背膜黄膜 150 纳米

划伤：膜厚 100 纳米以上时≤0.1% ；膜厚 100 纳米以下时≤0.3%

吸盘印：≤0.07%（不含舟框印）

正常运行时间（up time）

99%

平均故障间隔时间（MTBF）

MTBF≥300 小时

平均故障修复时间（MTTR）

MTTR≤2 小时

重量尺寸

整机重量（Kg）

5吨

设计尺寸(mm)

长9500X宽2750X高2300

功能结构

花篮装卸方式

空花篮自动流转

石墨舟装卸方式

在线式，双通道，机械手自动装卸舟