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产品特点
- 热场采用特殊材质多温区炉体搭配定制辅热，提升热场均匀性，改善镀膜均匀性，同时降低能耗5%；
- 专利力矩平衡模式的自适应炉门技术：炉门采用特殊的设计，炉门的密封性和稳定性提高40%；
- 专利储舟位并行散热技术：提升降温效果，缩短降温时间10%以上，同时提高操作台内部洁净度；
- 专利石墨舟电极技术：电极杆采用特殊材质设计，提高前电极的稳定性，尾电极炉管外可调，无碎片高频每班小于1次/台
- 专利主动降温炉体技术：有效改善大管径下的温度均匀性，进而改善镀膜均匀性。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 成膜种类 | SiN、SiON 、SiO |
| 装片尺寸 | 210mm（兼容182mm，230mm） |
装片量 | 768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm) |
镀膜厚均匀性 | 片内≤4% 片间≤4% 批间≤3%（166/182mm）, 片内≤5% 片间≤5% 批间≤3%（210/230mm） |
UP-TIME | ≥98% |
工作温度范围 | 100~600℃ |
温度控制 | 9点控温，内外双模控制 |
升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
降温方式 | 最新专利技术，9温区分段控制主动降温炉体 |
恒温区精度及长度 | ±1°C/3200mm(500°C) |
| 单点温度稳定度 | <±1°C/4h(500°C) |
升温时间 | RT→450℃≤30min |
温度控 | 双模精确控制 |
| 系统极限真空度 | <3Pa |
| 系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率≤1Pa /min |
| 压力控制方式 | 快速调整全自动闭环 |
工艺控制方式 | 工艺过程全自动控制，多重安全连锁报警 |
人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、班组管理、组网功能 |
MES/CCRM | 具有 |
