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产品特点
设备模块化设计，简洁易保养；
支持连接两台管式扩散设备；
采用PLC机控制人机界面易于使用和理解，实时温度监控；
可选配在线方阻检测、在线舟工作位检测功能；
在线/离线配置；
支持AGV,RFID,MES功能扩展；
方通+钣金焊接，配大尺寸透明窗，结构稳定可靠；
多重防呆，重要工站多重感应预警。
基本参数
机械系统规格表 | ||
|---|---|---|
| 硅片 | 兼容硅片尺寸 (mm) | 182×182～210×210(同一台设备一般只兼容相邻的两款尺寸) |
厚度(mm) | 0.11～0.20 | |
设备运行能力 | 实际运行产能(净产能) | 182:≥12500片/小时，210:≥10500片/小时 |
碎片率 | 182:≤0.02%,210:≤0.03% | |
划伤吸盘印等EL不良 | ≤0.03%或不低于同行业水平 | |
| 开机率(up time) | ≥98% | |
平均故障间隔时间(MTBF) | MTBF≥300小时 | |
平均故障修复时间(MTTR) | MTTR≤2小时 | |
整机重量(Kg) | 约7500 | |
检测功能 | 在线方阻检测 | 配置方阻检测执行机构 |
CCD相机 | 配置舟工作位碎片检测AOl,检测异常后报警提示 | |
插取片方式 | 龙门插片 | |
功能结构 | 花篮工位数量 | 双工位，每个工位放置两个花篮，A工位工作时，B工位做准备 |
石英舟工位数量 | 双工位 | |
| 花篮装卸方式 | 六轴机器人搬运 | |
石墨舟装卸方式 | 龙门桁架三轴机械手搬运 | |
石英舟分片辅助 | 风刀分片 | |
漏吸片检测 | 掉片漏吸片检测 | |
卡片检测 | 花篮位、舟位具有卡片、掉片检测功能 | |
