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产品特点
- 闭环运动控制系统，保证输送机构运动平稳性；
- 上表面采用水膜保护及辊轮带液方式，完整的保护正面的同时，对扩散后硅片下表面和边缘去除PSG/BSG；
- 可配套无金属化制程设备，提高设备洁净度；
- 进口PLC控制，稳步提升设备产能；
- 12000片/小时——210硅片（10道）；
- 15000片/小时——182硅片（12道）。
主要参数
项目 | 技术指标 |
|---|---|
硅片尺寸(mm) | 182/210/230可选 |
Uptime | ≥99% |
碎片率 | ≤0.01% |
外形尺寸 | 5360/8560×3160×2500(L×W×H) |
配液补液系统精度保证 | ≥200ml，补液精度≤±1%；＜200ml，补液精度不高于2ml |
产能 | 182≥15000片/小时（12道） 210≥12000片/小时（10道） |
带速 | 1~5m/min可调 |
功率消耗 | PSG：30KW；BSG：35KW |
