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产品特点
- 高产能，低能耗；
- 600片/批，13500片/小时---210mm硅片（100片花篮），
- 720片/批，16000片/小时---182mm硅片（120片花篮）；
- 兼容各种硅片尺寸，最大至230mm；
- 支持最薄120μm硅片；
- 支持多种添加剂技术；
- 快速换液，在线换液；
- 支持MES、RFID及选配在线称重功能。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182/210/230可选 |
| Uptime | ≥99% |
| 碎片率 | ≤0.01% |
| 外形尺寸（mm） | 27315×3106×3383(L×W×H) |
| 花篮装载能力 | 6个花篮/批 |
| 最大提升重量 | 100Kg |
| 产能 | 600片/批，13500片/小时---210mm硅片（100片花篮） 720片/批，16000片/小时---182mm硅片（120片花篮） |
| 清洗节拍 | 2.5min/批（用户自定，可调） |
| 功率消耗 | 310KW+144KW（热水机） |
工艺流程
预清洗→碱抛光→后清洗或O3清洗→酸洗→预脱水→烘干（仅供参考）
