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产品特点
- 优化喷淋板设计及腔体内空间, 改善流埸均匀性, 达到超大产能, 并提高维护性；
- 设备零配件的更换以客户易于维修为设计重点；
- 內外腔皆有密封圈, 防止內腔常发生无法密合的情況；
- 抽拉式分区加热板设计,便于维修；
- 流场空间优化设计, 减少TMA的损耗和工艺时间。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 硅片尺寸（μm） | 182-230 |
| 成膜种类 | Al2O3、SnOx、SiOx、NiOx 、 ZnOx |
| 成膜厚度 | 1-10nm 可控 |
| 成膜均匀性 | 片内:≤4%，片与片:≤4%，批与批:≤3% |
| 镀膜 | 双插单面镀膜 |
| UP-TIME | ≥98% |
| 碎片率 (不含自动化上下料) | ≤ 0.02% |
| 反应腔 | 内外双腔 |
载片方 | 水平腔体 |
| 送舟方式 | 工艺过程传输装置留在腔体 |
| 单舟装片量 | 182mm：3360 片/腔, 双舟 210mm：2880 片/腔, 双舟 |
极限真空度 | ≤ 0.08 Torr (~10 pa) |
| 工艺压力 | 0.5-10 Torr |
| 管路气密性 | ≤1x10-7pa.m3/s |
| TMA供气方式 | N2 携源/蒸气 |
| 泵抽速规格 | ≥1820m3/h+ISO160 |
| 工艺温度 | 150-300℃+1℃ |
| 温区数量 | 3 |
| 冷却水 | 2-4 kgf/cm2 |
设备尺寸长*宽（主体含泵, 臭氧机） | L8540*W4430*H2450 (mm) |
| 氮气需求 | 5N（机台提供9N纯化器） |
| 能耗值 | 三相五线制 380V±5%，50Hz±1Hz |
