低压扩散是目前被认为有效提高太阳能电池转换效率一种有效途径。低压扩散/氧化退火提高了扩散源的分子自由程，解决了扩散深度和均匀性的问题；相比常压扩散体现了一些显著的优势特性，比如高产能、高方阻、工艺重复性、低源消耗、洁净环保等。该设备主要用于晶体硅太阳电池制造中硅片的扩散掺杂与氧化退火工艺。