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产品特点
- 成熟的高产能工艺、双模温度控制技术、薄膜硅保护技术；
- 石墨舟电极技术:前电极面接触，采用石墨伸缩结构，提高电极稳定性，可定期更换清洗电极块，尾电极炉管外可调，加大电极尺寸及优化电极材料，良好解决高频报警问题；
- PE-POLY石墨舟采用特殊设计，减少导电和高频风险；
- 炉门采用力矩平衡模式的自适应炉门结构，提高炉门密封性；
- 专利储舟位并行散热方式:提升降温效果，缩短降温时间15%以上，同时避开底部从操作台前面进气，提高操作台内部洁净度；
- 快速自适应压力闭环控制技术；
- 等离子放电场检测技术；
- 装卸片防撞舟技术；
- 一体化工控机+模块化工艺控制软件；
- 全面的停电安全处理和法兰水异常保护。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 成膜种类 | AIO、SiN、SiON 、SiO |
装片量 | 768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm) |
镀膜厚均匀性 | SiOx均匀性:厚度1-3nm可调，精度0.1nm，用抛光片测试SiOx厚度；Poly均匀性:厚度50-200nm可调，精度1nm, 用抛光片测试Poly厚度，片内≤5%;片间≤5%;批间≤4%(>100nm时) |
UP-TIME | ≥98% |
工作温度范围 | 100~600℃ |
温度控制 | 9点控温，内外双模控制 |
升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
降温方式 | 最新专利技术，9温区分段控制主动降温炉体 |
恒温区精度及长度 | +1°C/3200mm(500°C) |
单点温度稳定度 | <+1°C/4h(500°C) |
升温时间 | RT→450℃≤30min |
温度控制 | 双模精确控制 |
系统极限真空度 | <3Pa |
系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率<1Pa/min |
压力控制方式 | 快速调整全自动闭环 |
工艺控制方式 | 工艺过程全自动控制，多重安全连锁报警 |
| 人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、班组管理、组网功能 |
MES/CCRM | 具有 |
