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产品特点
- 成熟的高产能工艺、双模温度控制技术、薄膜硅保护技术；
- 具备多种镀膜技术：多层复合膜、掺杂多晶硅技术；
- 采用垂直载片方式（类PE），硅片不容易变弯硅片对气流的阻挡小，提升气体利用率，提升镀膜均匀性；
- 采用独特工艺气体进气设计，炉口环形均匀进气+炉尾喷淋管进气，确保气场的均匀性；
- 采用悬臂桨双炉门方式，工艺时桨不需退出，缩短了工艺时间；石英管与舟不接触，减少舟对石英管的影响；
- 快速自适应压力闭环控制技术；
- 装卸舟防撞舟技术；
- 一体化工控机+模块化工艺控制软件；
- 全面的停电安全处理和法兰水异常保护。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 成膜种类 | SiOx,i/d-Poly-Si |
| 装片尺寸 | 垂直装片方式:2880片/批(182mm)，2200片/批(210mm) |
| 膜厚均匀性 | SiOx均匀性：厚度1-3nm可调，精度0.1nm，用抛光片测试SiOx厚度 Poly均匀性：厚度50-200nm可调，精度1nm，用抛光片测试Poly厚度，片内:≤4%;片间≤4%;批间≤3%(>100nm时) |
| UP -TIME | ≥95% |
| 工作温度范围 | 400-750℃ |
| 温度控制 | 6点控温，内外双模控制 |
| 升温方式 | 自动斜率升温及快速恒温功能 |
| 降温方式 | 最新专利技术，6温区分段控制主动降温炉体 |
| 恒温区精度及长度 | ±1℃/2800mm(550-700℃) |
| 单点温度稳定度 | ±1℃/6H |
| 升温时间 | RT → 750℃ ≤ 45min |
| 降温速率 | ≥ 5℃/min |
| 温度控制 | 双模精确控制 |
| 系统极限真空度 | ≤10mTorr |
| 系统漏气率 | 停泵关阀后压力升率≤10mTorr/min |
| 压力控制方式 | 快速调整全自动闭环 |
| 工艺控制方式 | 工艺过程全自动控制， 多重安全连锁报警 |
| 人机交互界面 | LCD显示、触摸操作、工艺编辑、在线监控、权限管理、班组管理、组网功能 |
| MES/CCRM | 具有 |
