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XBC激光开膜机

LX-754R

XBC激光开膜机

应用领域:

应用于BC电池上的激光开膜工艺技术,使用超快激光搭配平顶整形光斑,为制备叉指状间隔排列的P区和N区进行掩膜的图形化加工,以实现定域掺杂功能。

产品特点

  • 01
    全新光路传输系统设计,可靠性高稳定性高;
  • 02
    高效平顶均匀大光斑,加工效率高。

实例效果

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    实际光斑整形开膜效果展示
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    实际光斑整形开膜效果展示

基本参数

项目技术指标
光斑大小100~300μm光斑可选,方形平顶匀化光斑
激光器定制超快激光器,保固1年
加工电池尺寸18Xmm×18Xmm-210mm×210mm (兼容矩形片和半片)
机台产能TBC-BSG激光开膜:4000uph/182线@182mm;HBC-氮化硅激光开膜:6000uph/182线@182mm(双轨4头)
加工方式高精度高速振镜扫描
碎片率≤0.02%
图形精度Pt精度≤±15μm;线间距精度≤±10μm
定位精度定位偏差: ≤±30μm
料片检测前检工业相机,≥1000万像素;后检可选配
除尘及过滤效率除尘效率>95%,粉尘过滤效率>99%
上料方式两侧/同侧上下料可选
控制系统PLC+工控机
交互界面LCD显示、触摸操作、在线监控、权限管理等
MES具备MES 信息化接口