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产品特点
- 大装片量 18000片/腔；
- 进气釆用喷淋板的设计分散气体,增加气体分散的均匀性；
- 喷淋板采用易拆卸式、便于日后维修保养;
- 双层炉体设计,提高生产的安全性；
- 整机除了ALD镀膜功能外,并增加退火功能,提高钝化效果（两个镀膜腔，一个退火腔）。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182-230半片 |
| 成膜种类 | Al203 |
| 反应源配置 | 三甲基铝（TMA，Solar grade），水（H2O） |
| 成膜厚度 | 5-40nm 可控 |
| 成膜均匀性 | 片内:≤4%，片与片:≤4%，批与批:≤3% |
| 镀膜 | 堆叠侧边镀膜 |
装片量 | ≥18000/腔(210mm半片) |
| UP-TIME | ≥98% |
| 碎片率 (不含自动化上下料) | ≤ 0.03% |
极限真空度 | ≤ 0.08 Torr (~10 pa) |
| 工艺压力 | 0.5-10 Torr |
| 管路气密性 | ≤1x10-7pa.m3/s |
| TMA供气方式 | N2 携源/蒸气 |
| 工艺温度 | 150-300℃+1℃ |
单点温控精度 | ±0.5°C |
| 温区数量 | 3 |
