首页
产品特点
- 优化喷淋板设计及腔体内空间，改善流场均匀性，达到超大产能，并提高维护性；
- 设备零配件的更换以客户易于维修为设计重点；
- 独特的温度监控设计让工艺更佳稳定。
基本参数
| 项目 | 技术指标 |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182-230 |
| 成膜种类 | Al203、SnOx、Si0x、NiOx、Znox |
| 成膜厚度 | 1-10nm 可控 |
| 成膜均匀性 | 片内:≤4%，片与片:≤4%，批与批:≤3% |
| 镀膜 | 双插单面镀膜 |
| UP-TIME | ≥98% |
| 碎片率 (不含自动化上下料) | ≤ 0.02% |
| 反应腔 | 内外双腔 |
| 载片方式 | 水平腔体 |
| 送舟方式 | 工艺过程传输装置留在腔体内 |
| 单舟装片量 | 182mm:3360 片/腔,双舟;210mm:2880片/腔,双舟 |
| 工艺压力 | 0.5-10 Torr |
| 管路气密性 | ≤1x10-7pa.m3/s |
| TM A供气方式 | N2 携源/蒸气 |
| 泵抽速规格 | ≥1820m3/h+1s0160 |
| 工艺温度 | 150-300℃+1℃ |
| 温区数量 | 3 |
| 冷却水 | 2-4 kgf/cm2 |
| 设备尺寸长*宽(主体含泵,臭氧机) | L9700*W4340*H2450(mm) |
| 氮气需求 | 5N(机台提供9N纯化器) |
| 能耗值 | 三相五线制 380V+5%，50Hz±1Hz; |
